全自动纳米压印光刻基底预处理；

Cassette to cassette机械手自动上下片，包含基底清洗、匀胶、烘烤和冷却功能；

毛刷清洗、二流体清洗、兆声波清洗；

旋涂匀胶，包含自动供胶系统、EBR、BSR等功能；

热板烘烤、冷板冷却功能；

可选配Plasma表面处理功能。